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電容膜片真空計的來源及性能介紹

更新時間:2014-03-04      點擊次數(shù):4550
    真空計是高精度總壓強測量和控制的*選擇。為達到優(yōu)異的半導體和等離子過程要求的性能,將CDG100D真空計的溫度控制于100度。全量程范圍從100毫乇至1000乇,配有全部常用的法蘭型式和Fieldbus接口,和提供線性的0至10伏與氣體類型無關(guān)的壓強訊號。INFICON電容真空計采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優(yōu)點是訊號穩(wěn)定性好,從大氣壓恢復(fù)快,預(yù)熱時間短和超長的使用壽命。INFICON CDG是高質(zhì)量,成本效益好的壓強傳感器,用于半導體,等離子和各項要求高的真空應(yīng)用中。
 
    根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真空計稱為電容式薄膜真空計,它由電容式薄膜規(guī)管又稱為電容式壓力傳感器和測量儀器兩部分組成。根據(jù)測量電容的不同方法,儀器結(jié)構(gòu)有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補償法,具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標準真空計的就是采用零位法結(jié)構(gòu)
 
    科銳詩汀電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空計,在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能。數(shù)字電子學提高真空計的性能和易于使用的特點。如一鍵調(diào)零功能和設(shè)點調(diào)整??垢g性的超純陶瓷傳感器具有的零點穩(wěn)定性與預(yù)期數(shù)百萬次壓強周期包括大氣沖擊的長使用壽命。*的傳感器屏蔽(技術(shù))保護真空計防止過程污染。堅固耐用的機械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學加強了EMC兼容性,長期穩(wěn)定性和溫度補償性。CDG025D真空計為從電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復(fù)等特性設(shè)定了新的標準。
 
    電容膜片真空計*性:的滿量程穩(wěn)定性 – 與氣體類型無關(guān);抗腐蝕的氧化鋁傳感器;超小型, 同類產(chǎn)品中尺寸zui小;易集成, 任何方位安裝;數(shù)字訊號處理;無需維護。電容膜片真空計用途:真空鍍膜;真空監(jiān)測;消毒滅菌;食品和包裝;真空爐, 拉晶器;分析;化學真空過程。
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