雙極旋片真空泵的問與答

1、Q：雙極旋片真空泵可以應用到哪些行業(yè)？

  A：深圳市科銳詩汀科技有限公司代理的旋片泵可廣泛應用于太陽能、光學、薄膜、冶煉、鑄造、熱處理、手機、半導體、建材、微電子、平板顯示、Low-E玻璃、裝飾品等行業(yè)，在PVD、CVD、MBE、電廠凝氣器、油脂精煉系統(tǒng)、鋰電池干燥系統(tǒng)、直接蒸發(fā)系統(tǒng)、化工蒸發(fā)、蒸餾、濃縮系統(tǒng)、原料藥三合一干燥系統(tǒng)、食品脫水系統(tǒng)、冶金工業(yè)、鋼包脫氣、航天模擬實驗、包裝等行業(yè)中體現(xiàn)了明顯優(yōu)勢。

2、Q：我要抽到100Pa（1mbar），可以選旋片泵嗎？

   A：可以。在泵的選型上要注意降低一個數(shù)量級：如果要抽到100Pa，則泵必須能抽到10Pa，還要考慮腔體的漏率，如果漏率較大，需要維持額定的真空度，還要選擇更小的極限真空度，旋片式真空泵通常有單級和雙極二種，是市場上使用廣泛的真空泵之一。雙極旋片泵的極限真空度一般在1x10^-1Pa，好的能達到5x10^-²Pa。

 3、Q：雙級旋片泵的抽速怎么選？

 A: 需要考慮待抽腔體的大小、在多長時間內(nèi)抽到多大的真空度。如果不懂計算，可以交給深圳科銳詩汀的專業(yè)工程師幫您計算選型。另外還有一個技巧，就是寧愿選擇稍大一點抽速的泵，會使設(shè)備更游刃有余。

4、Q：旋片泵抽速較小，腔體較大，對時間無要求，多抽一段時間就可以了吧？

A: 不可以。旋片式真空泵其結(jié)構(gòu)主要有定子，轉(zhuǎn)子，端蓋和旋片等組成。轉(zhuǎn)子偏心安裝在定子孔內(nèi)，轉(zhuǎn)子開槽。當轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，旋片在槽內(nèi)依靠離心力保持和定子孔內(nèi)壁緊密接觸，并沿孔壁在槽內(nèi)進行滑動，使泵腔容積不斷發(fā)生大小變化，再通過排氣閥片，從而完成吸氣，壓縮與排氣過程，達到連續(xù)抽氣的目的。如果泵不能短時間內(nèi)抽到較低的真空度，勢必長時間高速旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子就可能發(fā)熱膨脹，由于其與內(nèi)壁緊密接觸，就會發(fā)生堵轉(zhuǎn)，從而失去抽真空的功能。

5、Q：雙極旋片泵，可以抽水汽嗎？

A：少量水汽是可以的，但大量的不行。旋片式真空泵在結(jié)構(gòu)形式上一般采用雙級油浸式，即整個泵體浸在油箱內(nèi)的泵油中，油箱內(nèi)部有冷卻系統(tǒng)，可進行水冷卻降低泵在氣體壓縮過程中產(chǎn)生大量壓縮熱。（小泵無需水冷卻）。抽的氣體是經(jīng)過泵油的，如果氣體內(nèi)含有大量水蒸氣，極易造成泵油乳化。

6、Q：雙極旋片泵還有哪些氣體不能抽？

A：雙擊旋片泵不適宜抽除含氧過高，有毒，易爆炸，對金屬有腐蝕作用以及含有顆粒狀塵埃的氣體，也不適用輸送氣體和長時間暴露大氣運轉(zhuǎn)。

7、Q：為什么在使用雙極旋片泵是會有油氣噴出來？如何解決？

A: 旋片式真空泵作為前級泵，一般是從標準大氣壓抽到1Pa以下，由于整個泵體浸在油箱內(nèi)的泵油中，在剛啟動的時候，大量氣體涌入，極易將泵油帶出泵體，但隨著壓力的下降，氣體越來越稀薄，啟動的一剎那之后，并不會再有泵油被帶出。當然這會給一些對環(huán)境潔凈度有要求的客戶造成困擾，可以配置專業(yè)的油污過濾器。