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產(chǎn)品中心

當前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  石英晶體膜厚控制儀  >  INFICON

  • 膜厚監(jiān)測和控制儀

    膜厚監(jiān)測和控制儀使用成熟的 INFICON 石英晶體傳感器技術(shù)在薄膜沉積過程中測量速率和厚度。兩個傳感器輸入為標準輸入,另外四個傳感器輸入為可選輸入。兩個錄像機輸出可提供模擬速率和厚度信號。

    更新日期:2026-03-31
    型號:
    廠商性質(zhì):代理商
  • RSH-600INFICON 旋轉(zhuǎn)式傳感器探頭

    SH-600 旋轉(zhuǎn)式傳感器頭設(shè)計用于要求苛刻的工藝,采用非常厚的薄膜和幾種不同的材料。RSH-600 將六顆晶體固定在熱屏蔽、水冷卻的殼體中,確保在溫度高達 300°C 的應(yīng)用環(huán)境下獲得晶體性能。晶體固定在一個易于拆卸的 Teflon® 和不銹鋼晶體支架中。

    更新日期:2026-03-18
    型號:RSH-600
    廠商性質(zhì):代理商
  • ALDINFICON 探頭(傳感器)

    INFICON ALD 傳感器將石英晶體微天平(QCM)測量的可重復(fù)性、精確性和耐用性帶入原子層沉積 (ALD)。ALD 傳感器可承受高達 450ºC 的高溫,設(shè)計在嚴苛的 ALD 應(yīng)用環(huán)境中運行。裸露的晶體電極*接地以有效地消除與電干擾有關(guān)的任何潛在問題。

    更新日期:2026-03-18
    型號:ALD
    廠商性質(zhì):代理商
  • XL12INFICON Crystal 12探頭(傳感器)

    INFICON Crystal 12 傳感器與INFICON IC6 薄膜沉積控制器結(jié)合使用時,可自動更換其晶體,而無需中斷過程。晶體不穩(wěn)定或失效時,IC6 會立即向 Crystal 12 傳感器旋轉(zhuǎn)傳送帶發(fā)送信號,要求其立即將新晶體旋轉(zhuǎn)到位,從而實現(xiàn)持續(xù)沉積速率監(jiān)控。

    更新日期:2026-03-18
    型號:XL12
    廠商性質(zhì):代理商
  • BKINFICON UHV可烘烤探頭

    INFICON UHV 可烘烤晶體傳感器擁有經(jīng)實踐檢驗的可靠性和耐用性,提供超越當前市場上的任何傳感器頭的熱穩(wěn)定性??珊婵緜鞲衅饔?304 號不銹鋼、鉬、鉻鎳鐵合金、鎳和氧化鋁材料制成,設(shè)計為可承受連續(xù)烘烤溫度高達 450° C(僅適用于烘烤,實際沉積監(jiān)控需要水流)。前裝式設(shè)計允許在側(cè)面插入空間不足的應(yīng)用中輕松插入晶體支架。

    更新日期:2026-03-18
    型號:BK
    廠商性質(zhì):代理商
  • ERDINFICON 簡易雙單頭

    經(jīng)濟型雙傳感器為一個晶體可能不夠的 QCM 應(yīng)用提供簡單并且廉價的解決方案。閘門將覆蓋第二個晶體,直到需要該晶體完成過程。經(jīng)濟型雙傳感器使用兩條真空電纜以便于在現(xiàn)場更換。 經(jīng)濟型雙傳感器的緊湊設(shè)計僅需要 32.5 毫米(1.3 英寸)的間隙,傳感器和快門組件即可穿過標準 CF40 管嘴。

    更新日期:2026-03-18
    型號:ERD
    廠商性質(zhì):代理商
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